一文了解光刻机


发布时间:

2021-12-08

随着芯片制造工艺的持续微缩,光刻机在过去几十年里也有了跨越性的发展。现在正在被台积电等先进工厂采用的EUV光刻记,更是成为了大家关照的焦点。究竟光刻机是怎么工作的?我们来看一下ASML的科普。而要了解其原理,首先从了解其外面的保护壳开始。

一文了解光刻机

随着芯片制造工艺的持续微缩,光刻机在过去几十年里也有了跨越性的发展。现在正在被台积电等先进工厂采用的EUV光刻记,更是成为了大家关照的焦点。究竟光刻机是怎么工作的?我们来看一下ASML的科普。而要了解其原理,首先从了解其外面的保护壳开始。